芯源微成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，公司主要产品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备。公司生产的涂胶显影设备产品成功打破国外厂商垄断，填补国内空白。公司产品已实现批量销售，目前已累计销售800余台套，作为主流机型成功打入包括台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等在内的多家国内知名一线大厂，堪称国内半导体装备产业细分市场的“隐形冠军”。芯源微立足自主研发，持续引进高端人才，连续承担国家02科技重大专项，通过多年技术积累、创新提高，形成独有的自主知识产权体系。公司已获得专利授权174项，拥有软件著作权39项，主持制订行业标准2项，连续两年被评为中国半导体设备行业十强。2019年12月16日，公司在上交所科创板上市，成为半导体光刻设备第一股，辽宁省科创板第一股，市值百亿
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